ZHCAFM2 August   2025 LM2904B

 

  1.   1
  2.   摘要
  3.   商标
  4. 1简介
  5. 2ESD 概述
    1. 2.1 什么是静电放电?
      1. 2.1.1 半导体中的 ESD 单元稳健性
  6. 3ESD 单元的类型
    1. 3.1 双二极管配置
      1. 3.1.1 双二极管配置并非通用之选?
    2. 3.2 自举二极管
    3. 3.3 吸收器件
      1. 3.3.1 有源钳位
      2. 3.3.2 GCNMOS 钳位
    4. 3.4 硅控整流器
    5. 3.5 CER 和 ECR NPN 二极管
      1. 3.5.1 测量 ECR/CER ESD 单元的响应
    6. 3.6 ESD 单元对比
  7. 4如何根据数据表确定器件的 ESD 结构
  8. 5如何保护系统免受电路内 ESD/EOS 事件的影响
    1. 5.1 使用 TVS 二极管和串联电阻实现电路保护
    2. 5.2 使用肖特基二极管实现电路保护
  9. 6如何在系统级电路中测试运算放大器
    1. 6.1 ESD 保护单元发展历程
  10. 7总结
  11. 8参考资料

半导体中的 ESD 单元稳健性

让我们更深入了解半导体器件被 ESD 损坏的典型方式。假设在运算放大器的反相输入端和负电源引脚之间施加较大 ESD 电位或电压(图 2-1)。

 ESD 事件电压路径图 2-1 ESD 事件电压路径

此 ESD 事件会在其中一个输入 MOSFET 的栅极和源极之间施加较大电压,进而导致器件损坏。MOSFET 栅极氧化层的厚度为纳米级,因此 MOSFET 极易受到此类损坏。

 MOSFET 示意图图 2-2 MOSFET 示意图

ESD 保护二极管可提供必要防护以防发生此类损坏。器件操作不当可能会导致意外的 ESD 事件。ESD 脉冲产生的常见方式之一是通过 IC 与人的交互。人体可因行走时与地面摩擦、接触家具等行为积聚静电放电。如果未经适当 ESD 保护措施直接接触器件,这些电荷会迅速泄放到 IC 中。静电电压通常可达千伏,彰显了配置 ESD 单元的必要性。为确保器件能够承受此类事件,运算放大器将耐受快速电压浪涌(千伏范围内),经过测试后可确保器件仍正常工作。这一仿真称为人体放电模型 (HBM)。

为确保 IC 能够承受 ESD 事件,实验室中模拟的另一个现实 ESD 事件示例是充电器件模型 (CDM)。CDM 通过在器件与自动测试机(或整个组装过程中使用的其他自动化设备)之间的电荷积聚现象,模拟制造和组装过程中最常发生的事件。当器件接触接地导体时,残余电容会放电,可能会对 IC 造成损坏。需要小心操作器件,以免触发 ESD 事件。在模拟此类故障模式时,需要对器件施加高压,然后再进行功能测试。由于放电时间通常以纳秒计,因此大多数故障表现为栅极氧化物损伤(如上所示)和结损伤。

机器模型 (MM) 先前用于模拟最恶劣情况下的 HBM 事件。但这无法准确模拟现实中的 ESD 事件,因此不再使用。现在,半导体的 ESD 稳健性测试均使用 HBM 和 CDM。

JEDEC 是电子器件工程联合委员会,为半导体器件的可接受 ESD 等级(包括 HBM 和 CDM 测试)制定了行业标准。有关 JEDEC 和半导体行业要求的更多详细信息,请参阅官方网站。所有器件数据表都包含相应模型的电压阈值。典型 ESD 等级表示例如 表 2-1 所示,所用器件为 OPA596。了解器件的保护类型十分重要。下一部分将讨论不同类型的 ESD 单元。

表 2-1 OPA596 的 ESD 等级
单位
V(ESD)静电放电人体放电模型 (HBM),符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 标准±1000V
充电器件模型 (CDM),符合 JANSI/ESDA/JEDEC JS-002 标准±500