ZHDU073 March   2026

 

  1.   1
  2.   说明
  3.   资源
  4.   特性
  5.   应用
  6.   6
  7. 1系统说明
    1. 1.1 主要系统规格
  8. 2系统概述
    1. 2.1 方框图
    2. 2.2 设计注意事项
      1. 2.2.1 环路带宽
      2. 2.2.2 快速建立与采样
      3. 2.2.3 低温度漂移与长期漂移
      4. 2.2.4 输出能力
      5. 2.2.5 线性度
      6. 2.2.6 漏电流
      7. 2.2.7 降低噪声
      8. 2.2.8 减小电流量程切换时的毛刺
      9. 2.2.9 热设计
        1. 2.2.9.1 OPA593
        2. 2.2.9.2 OPA593 分压电阻与串联电阻
        3. 2.2.9.3 电流检测电阻器和反馈分压器
        4. 2.2.9.4 钳位电阻器
    3. 2.3 重点产品
      1. 2.3.1  REF54
      2. 2.3.2  DAC11001B
      3. 2.3.3  DAC80502
      4. 2.3.4  ADS9317
      5. 2.3.5  OPA593
      6. 2.3.6  OPA596
      7. 2.3.7  PGA849
      8. 2.3.8  OPA454
      9. 2.3.9  OPA4187
      10. 2.3.10 THS4552
      11. 2.3.11 RES11A
  9. 3系统设计原理
    1. 3.1 强制电压模式
    2. 3.2 强制电流模式
    3. 3.3 缓冲器模式
    4. 3.4 并联主机模式
    5. 3.5 并联从机模式
  10. 4硬件、软件、测试要求和测试结果
    1. 4.1 硬件要求
      1. 4.1.1 支持的工作模式
      2. 4.1.2 电源
      3. 4.1.3 硬件连接
    2. 4.2 软件要求
      1. 4.2.1 PC GUI
        1. 4.2.1.1 控制窗口
        2. 4.2.1.2 ADC 读取原始数据窗口
        3. 4.2.1.3 校准窗口
    3. 4.3 测试设置
      1. 4.3.1 源模式连接
      2. 4.3.2 灌电流模式连接
      3. 4.3.3 并联模式连接
    4. 4.4 测试结果
      1. 4.4.1 线性度和精度
        1. 4.4.1.1 FV±40V，500mA，Comp = 10k+470nF，DUT = 3mΩ
        2. 4.4.1.2 FV 0V-80V，500mA，Comp = 10k+470nF，DUT = 3mΩ
        3. 4.4.1.3 FI、±40V、10mA、Comp = 10k + 470nF、DUT = 3MΩ
        4. 4.4.1.4 缓冲器、±40V、10mA、Comp = 10k + 470nF、DUT = 3MΩ
      2. 4.4.2 瞬态
      3. 4.4.3 电容负载
      4. 4.4.4 毛刺
      5. 4.4.5 趋稳时间
      6. 4.4.6 ADC 摆幅 LSB
  11. 5设计和文档支持
    1. 5.1 设计文件
      1. 5.1.1 原理图
      2. 5.1.2 BOM
      3. 5.1.3 PCB 布局建议
        1. 5.1.3.1 布局图
    2. 5.2 工具与软件
    3. 5.3 文档支持
    4. 5.4 支持资源
    5. 5.5 商标
  12. 6作者简介
  13. 7致谢

1 系统说明

在半导体测试仪中，许多不同的功能卡用于实现不同的测试目的。这些卡包括器件电源 (DPS)、引脚电子 (PE)、参数测量单元 (PMU)、高压 (HV) PMU、数字转换器、任意波形发生器 (AWG) 等。每块电路板根据设计拓扑结构，具备单一或多种功能。DPS 为被测器件 (DUT) 供电。PE 集成了引脚驱动器和单引脚参数测量单元 (PPMU) 以及有源负载，用于测试多种功能。PE 可执行图案测试、开短路测试、引脚电平测试等。AWG 可生成任意波形，用于测量信噪比 (SNR) 和总计谐波失真 (THD) 等。PMU 可精确测试 DUT 参数，支持强制电压测量电流 (FVMI)、强制电流测量电压 (FIMV) 或仅测量电压 (MV)。PMU 能精确强制输出和测量 DUT 的电压和电流。PMU 卡包括用于不同 DUT 电压应用的低压 (LV) PMU 卡和高压 (HV) PMU 卡。低压 PMU 采用集成芯片设计，因为集成芯片尺寸更小，有助于提高通道设计密度。

TIDA-010962 ATE 测试仪元件图 1-1 ATE 测试仪元件

高压 PMU 可实现高压和大电流的强制输出与测量。HV PMU 可满足汽车级芯片、电池管理系统 (BMS) 芯片或分立元件的测试需求。HV PMU 需要通过高分辨率 DAC 和 ADC 来实现更小的控制和测量电压步进。HV PMU 在小输出范围内仍保持精度要求。在本参考设计中，20 位高速 DAC 和 18 位高速 ADC 通过精密信号链实现了高精度的高速控制与测量。