ZHCAFL2A November 2014 – August 2025 DLP9000 , DLP9000X , DLP9500 , DLPC900 , DLPC910
对于宽带光源和 LED 光源,当照明光束(光锥)的尺寸与 DMD 输出光束相匹配时,微镜倾斜变化可能会导致一些光从侧面溢出或不完全填充输出孔径,如图 6-3 所示。这会导致输出亮度出现意外损失。
请注意,当 DMD 与非相干源一起使用时,必须在 DMD 的照明路径中使用一个滤波器,该滤波器能几乎完全阻断 400nm 以下的所有波长(请参阅各个 DMD 的数据表中的规格)。某些 LED 没有低于 400nm 的显著光谱内容,因此无需使用滤波器。
图 6-3 小输出孔径为了以容差捕获所有光并适应微镜倾斜变化,理想的方法是使照明捆绑包小于输出孔径。这样可以捕获所有的光,如图 6-4 中所示:
图 6-4 倾斜变化时的反射照明移动倾斜变化规格为 ±1°。在输出孔径处,反射的照明移动了该量的 2 倍,即 ±2°,因为反射的射线移动了反射表面角运动的 2 倍。建议输出孔径的直径比照明束大 4°,以涵盖该范围(-2° 至 +2°)。
因此,为了提供 4° 容差,输出端的最大 ƒ 数值(最小孔径)存在有效限制。即使照明的角度范围数值孔径 (NA) 非常小,孔径具有 ƒ/14.3 等效值,即角直径为 4° 的圆锥。
对于可在此容差范围内达到的缩小倍数,存在实际限值。ƒ 数小于 1 的光学元件很难构建。如果使用 ƒ/1 的限值,则 13 倍的缩小倍数是最大缩小倍数。图 6-5 中的图显示了两条曲线。品红色曲线是 DMD 输出孔径上锥体的角直径,它在制造表面产生 ƒ/1 锥体。绿色曲线是照明捆绑包的允许角度直径,用于保持照明捆绑包和输出孔径之间的 4° 裕度。请注意,允许的照明锥直径在 13 倍缩小后达到零。
图 6-5 DMD 输出孔径直径与缩小倍数间的关系对于给定 ƒ 数值,可实现的最大缩小倍数近似值通过以下公式得出:
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总之,在高倍率缩小系统中使用时,非相干源有两个限制。建议输出的 ƒ 数值小于 ƒ/14.3 且缩小倍数不超过 13 倍。实际上,照明束角直径需要保持在几度,允许恢复一些孔径裕度或选择较小的缩小倍数。