ZHCAEP9B July   2015  – November 2024 DLP7000UV , DLP9000XUV , DLP9500UV

 

  1.   1
  2.   使用用于 UVA 区域的 TI DLP® 技术进行系统设计的注意事项
  3.   商标
  4. 1引言
  5. 2热
  6. 3占空比
  7. 4光学
  8. 5高倍率缩小系统
    1. 5.1 非相干源（灯和 LED）
    2. 5.2 相干源（激光）
  9. 6结语
  10. 7参考资料
  11. 8修订历史记录

5 高倍率缩小系统

使用 DLP 技术的投影系统通常使用照明设计，如图 5-1 所示。请注意，平板 状态不是 DMD 微镜工作状态，但在设计光学系统时必须考虑该状态。

典型投影系统光学元件图 5-1 典型投影系统光学元件

但是，某些光刻和 3D 打印系统使用 DMD 阵列图像缩小来处理非常小（低至 1µm 或更小）的特征。图 5-2 展示了高倍率缩小系统输出孔径的小尺寸与典型投影光学系统的小尺寸。

投影透镜入射光瞳处的光分布（典型投影系统与高缩小倍数）图 5-2 投影透镜入射光瞳处的光分布（典型投影系统与高缩小倍数）

对于高缩小倍数典型的这些相对较小的孔径，应考虑分为两个区域：非相干源和相干源。