ZHCSS22 april 2023 DLP670RE
PRODUCTION DATA
DLP670RE 是一款 0.67 英寸对角线空间光调制器，其中包含一个高反射铝微镜阵列。图 6-11 展示了像素阵列大小和方格像素排列。
该 DMD 是一个电输入、光输出微机电系统 (MEMS)。电气接口为低压差分信号 (LVDS)，具有双倍数据速率 (DDR)。
DLP670RE DMD 由 1 位 CMOS 存储单元的二维阵列组成。该阵列被组织成 M 个存储单元列乘以 N 个存储单元行的栅格。请参阅功能方框图。
通过改变底层 CMOS 寻址电路的地址电压和微镜复位信号 (MBRST)，可以单独控制微镜的正偏转角或负偏转角。
M × N 存储阵列的每个单元将其真实和互补（“Q”和“QB”）数据驱动到一个微镜下方的两个电极，对角旋转轴的每侧各一个电极。请参阅节 6.10。微镜以电气方式连接到微镜复位信号 (MBRST)，微镜阵列分为复位组。
微镜及其存储器数据电极之间的静电电势会使微镜向 DLP 投影系统中的光源倾斜或向远离该光源的方向倾斜，从而将其入射光反射到光收集孔隙中或从光收集孔隙中反射出来。正 (+) 倾斜角状态对应于“打开”像素，负 (–) 倾斜角状态对应于“关闭”像素。