图 1-2 显示了具有可见污染（例如固体或液体和气体污染）的传感器区域的图像。灰尘颗粒和烟雾等固体污染物会在一段时间内累积到传感器上。液体污染物（例如带离子的水、唾液、汗液、清洁通量以及气态污染物（例如挥发性有机化合物）会影响传感器聚合物，进而影响 RH 输出。挥发性有机化合物（简称 VOC）是有机化学物质，通常是人造产品，容易蒸发到空气中，也称为释放气体。这些相互作用会导致 RH 精度发生变化，并且根据暴露水平，这些相互作用也会导致永久性 RH 精度误差。

化学污染可以是任何物质状态的形式。液体、气体和固体有可能会导致 RH 精度误差。表 1-1 所示为可能处于不同物质状态的化学污染潜在来源的非详尽列表。

虽然了解物质状态有助于了解化学污染可能来自各种来源，但为了能了解对 RH 传感器性能的潜在影响，请将化学污染分为两类：大容量 污染和表面 污染。表面污染是指固体和液体，其中有可见材料沉积在检测聚合物的表面。批量污染可定义为气体污染，其中分子嵌入到聚合物体内，无法用显微镜观察传感器腔体表面。虽然对 RH 性能的大部分影响都取决于污染的化学成分，但污染是表面污染还是整体污染也很重要。表面污染通常可以通过蒸馏水或擦拭来清洁（有关更多详细信息，请参阅如何调试 RH 传感器中的 RH 精度问题的第 4.6.4 节），但散装污染无法从外部清洁。解决散装污染需要热量来加速污染物从聚合物结构中扩散。

图 1-2 展示了多个不同的表面污染示例。在图像 A 和 B 中，表面污染是沉积在聚合物上的固体材料，其数量不同。图 C 显示了液体污染导致的干燥环，可能会在液体蒸发后留下固体污染。

在图 1-2 中，较大的绿色圆圈显示整个中心腔的视图，放大可显示聚合物。较小的黄色圆圈表示内部传感器区域，电容式感应电极位于该区域。电容式电极无法覆盖整个传感器芯片或者整个聚合物表面。与外圈区域相比，内圈对化学污染物的敏感性要高得多。图 2-1、图 2-2、图 2-3、图 2-4 和图 2-5 以简化的方式从横截面视图平面显示该内圈传感器面积，省略外部聚合物面积。