ZHDA278A August   2026  – August 2026 HDC1010 , HDC1080 , HDC2010 , HDC2021 , HDC2022 , HDC2080 , HDC3020 , HDC3020-Q1 , HDC3021 , HDC3021-Q1 , HDC3022 , HDC3022-Q1 , HDC3120 , HDC3120-Q1

 

  1.   1
  2.   摘要
  3.   商标
  4. 1简介
    1. 1.1 为什么会发生化学污染
    2. 1.2 化学污染物的类型和来源
  5. 2详细说明
    1. 2.1 与传感器相互作用的遏制机制
    2. 2.2 非极性化学污染
    3. 2.3 极性化学污染
    4. 2.4 离子化学污染
    5. 2.5 表面化学污染
    6. 2.6 可以采取哪些预防措施?
  6. 3总结
  7. 4参考资料
  8. 5修订历史记录

为什么会发生化学污染

基于电容的相对湿度 (RH) 传感器 IC 采用空腔封装,可将环境水分传递到封装中。为了捕获空气中的水蒸汽,在腔体内的检测电极上放置了一个聚合物层,用作电容式传感器的电介质。水蒸汽与聚合物相互作用,改变电介质常数。介电常数的这种变化会导致聚合物下方检测电极的电容发生变化,然后在内部转换为相对湿度输出。

由于存在该腔体,RH 传感器不仅会暴露于湿气中,还会暴露于多种其他有害化学品中。当将其他化学品引入检测聚合物时,这些化学品会改变聚合物的介电特性,并可能改变 RH 传感器的 RH 性能。这些不需要的化学品称为污染物。对传感器精度的影响是可变的,取决于污染的类型、浓度和暴露周期。

 电容式湿度传感器结构图 1-1 电容式湿度传感器结构