ZHCA627B January   2024  – April 2024 DLP500YX , DLP5500 , DLP6500FLQ , DLP6500FYE , DLP650LNIR , DLP670S , DLP7000 , DLP7000UV , DLP9000 , DLP9000X , DLP9000XUV , DLP9500 , DLP9500UV

 

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  4. 1DMD 微镜的加热
    1. 1.1 镜面与镜体差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-BULK_MIRROR)
    2. 1.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)
    3. 1.3 器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)
  5. 2使用脉冲光源计算镜面温度
    1. 2.1 镜面与镜体差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-BULK_MIRROR)
    2. 2.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)
    3. 2.3 器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)
    4. 2.4 计算镜面与陶瓷差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-CERAMIC)
  6. 3计算示例
  7. 4总结
  8. 5参考资料
  9. 6修订历史记录

1 DMD 微镜的加热

当将来自光学光源的光施加到 DMD 时，大部分光会入射到镜面并被反射。不过，该入射光的一小部分被镜片材料吸收，必须通过 DMD 镜片结构耗散到 DMD 器件中，然后从 DMD 硅片散发到 DMD 陶瓷封装的背面。DMD 上的另一小部分入射光以及任何溢出阵列并直接落在器件上的光一同落在 DMD 器件上的镜片之间的间隙内。这种光以热量的形式被器件吸收，并与器件上电路产生的热量以及通过镜面吸收的热量相结合，在 DMD 器件上产生总体温升。然后，这些热量通过 DMD 陶瓷封装散发。图 1-1 中的简单 1-D 电阻网络说明了描述 DMD 热吸收和冷却路径的模型。

GUID-20231206-SS0I-RHLB-DRXS-7K1TPXS7S7WR-low.png图 1-1 简化的 DMD 热敏电阻网络

该电阻网络显示了三次温升，必须计算这些温升才能确定镜面温度。在使用连接的热电偶的系统中可以测量 TCERAMIC，但 TSILICON、TBULK MIRROR 和 TMIRROR SURFACE 无法直接测量。因此，我们需要计算以下温度差值：