ZHCT316F August   2025  – August 2025 DLP7000 , DLP7000UV , DLP9000 , DLP9000X , DLP9000XUV , DLP9500 , DLP9500UV

 

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  3. 1使用 DLP 技术进行光刻的优势何在?
  4. 2适用于光刻的 DLP 设计
  5. 3示例应用
  6. 4评估模块
  7. 5系统方框图
  8. 6适用于工业 3D 打印和数字光刻的高速 DLP 子系统
  9.   商标

借助德州仪器 DLP® 技术实现可扩展、可编程的光路调节,支持高速、高精度的无掩模光刻。

TI DLP 技术支持无掩模光刻设计,适用于 PCB 图案、阻焊层、平板显示器、激光打标和其他需要高速和高精度的数字曝光系统。

可编程光导 DLP 技术用于直接将图案曝光至光阻膜上,而无需接触式掩模,从而降低了材料成本、提高了生产率,并允许快速更改图案,尤其适用于最小特征尺寸需采用双重光刻的场景。

与窄激光束或掩模系统相比,直接成像可提高工作效率。无掩模光刻的一个关键优势在于,能够在不同生产批次之间更改光刻图案,而无需承担制作新光掩模的成本。