半导体制造

Test and measurement semiconductor manufacturing integrated circuits and reference designs

设计注意事项

我们的集成电路和参考设计有助于创建高精度半导体制造设备,从而实现精确的过程和质量控制。

新一代半导体制造设备需要:

  • 实现全自动控制以用于清洁室环境。
  • 在每个制造步骤中实现精确的移动、定位和对齐控制。
  • 通过高精度亚微米级几何测量功能进行质量控制。
  • 通过强大的数字模块进行图像处理和分析。
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技术文档

应用手册和用户指南

应用手册 (4)

标题 类型 大小 (KB) 日期 下载最新英文版本
PDF 697 KB 07 Apr 2021
PDF 2.75 MB 30 Sep 2020
PDF 8.6 MB 20 Jun 2016
PDF 132 KB 16 Apr 2015

产品公告和白皮书

白皮书 (3)

标题 类型 大小 (MB) 日期 下载最新英文版本
PDF 688 KB 01 Feb 2018
PDF 3.07 MB 01 Aug 2016
PDF 2.13 MB 31 Mar 2016

技术文章

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